臺(tái)式電鏡主要由真空系統(tǒng)、電子槍、光學(xué)系統(tǒng)和探測(cè)器等組成。
 

　　1、真空系統(tǒng)
 

　　一般采用機(jī)械泵與分子泵聯(lián)動(dòng)。
 

　　2、電子槍發(fā)射源
 

　　電子槍發(fā)射源一般為鎢燈絲、六硼化鈰，也有采用場(chǎng)發(fā)射槍的臺(tái)式電鏡。其中鎢燈絲的價(jià)格便宜但使用壽命較短，六硼化鈰燈絲壽命長(zhǎng)、亮度高，價(jià)格也隨之而升，但其束流穩(wěn)定性差，不穩(wěn)定的束流直接影響能譜分析的準(zhǔn)確度。
 

　　3、超高分辨率
 

　　其分辨率在加速電壓為30kv的條件下能達(dá)到8nm。電鏡之所以會(huì)擁有如此高的分辨率，主要原因還在于其光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。
 

　　4、光學(xué)系統(tǒng)
 

　　傳統(tǒng)的臺(tái)式電鏡采用BSD探測(cè)器成像，具有超高分辨率的臺(tái)式電鏡采用的是與大型電鏡一致的三級(jí)電磁透鏡系統(tǒng)，即二級(jí)聚光鏡+物鏡設(shè)計(jì)，其作用是可以獲得更小的電子束斑直徑，將電子槍的電子束縮小成直徑約幾十埃的狹窄電子束，多級(jí)束流匯聚確保獲得低于8nm高分辨率成像。
 

　　5、探測(cè)器
 

　　探測(cè)器主要為背散射電子探測(cè)器或二次電子探測(cè)器。有些臺(tái)式電鏡同時(shí)采用兩種探測(cè)器，其中背散射電子探測(cè)器主要用來觀察材料成分，而二次電子探測(cè)器專門用來觀察樣品表面形貌，圖像的立體感較強(qiáng)。